TY - BOOK ID - 125305963 TI - Microcircuit engineering '79 - microstructure fabrication - : proceedings, 25-27 september 1979 rwth aachen AU - Institute Of Semiconductor Electronics (Aachen{Rpara} AU - Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen PY - 1979 PB - Aachen : Institute for semiconductor electronics [Aachen], DB - UniCat KW - Lithographie KW - Congres et conferences UR - https://www.unicat.be/uniCat?func=search&query=sysid:125305963 AB - ER -